二手 KLA / TENCOR HRP 340 #293794170 待售

KLA/TENCOR HRP 340是一种晶圆测试和计量设备，设计用于半导体晶圆的无损、高分辨率物理检验。这种先进的晶圆测试系统利用多摄像头和数字成像技术，精确测量和检测晶圆表面的电气、机械和光学缺陷。其物理检查能力支持对分辨率为0.25 μ m、聚焦深度为4.5 μ m的380 mm晶片进行晶片检查，有助于识别晶片表面上的颗粒、划痕和其他缺陷。设备还能够一次检查晶片上的多个模具。晶片上多个模具的检测是通过其自动聚焦引擎、电动XY级和集成成像机完成的，这有助于提供快速准确的结果。KLA HRP 340为缺陷检测、测量和表征提供了多种选择。它包括直流偏置、电容测量和电阻率测量等各种电气测试，以及线宽、边缘计数、多边形计数、CCD像素计数和泄漏电流的测量。此外，它还提供表面分析、缺陷和薄膜厚度检测、粒子分析和识别等光学测试。其成像能力包括SEM、STM、TEM和高放大成像。其电动XY级有助于最大限度地减少各测试点的模具位置变化，从而确保更好的重复性和结果的可重复性。该工具与符合行业具体要求的高级软件集成在一起，为分析和报告提供了可靠的数据。该软件使用直观的用户界面构建,捆绑了有效的数据管理和SPC（统计过程控制）解决方桉。它还包括符合SEMI标准的食谱,有助于生成符合行业标准的有用报告。TENCOR HRP 340是晶圆测试和计量应用中高分辨率半导体晶片检测的理想选择。其先进的特性和能力使其非常适合先进的模具级计量和表征，从而加快晶圆测试和计量的过程。