二手 KLA / TENCOR HRP 340 #9383060 待售

KLA/TENCOR HRP 340是一种自动化晶片测试和计量设备，使生产工厂能够快速准确地测量微电子半导体晶片的平面和尺寸参数。适用于测量动态变量（宽度、厚度、表面拓扑等），提供各种计量和电气应用，确保测量极为准确可靠。该系统采用了先进的图像处理和模式识别技术。该单元包括一个舞台、一个样品支架、一个晶圆取向站、一个旋转台以及先进的视觉处理和测量算法。要启动测量过程,机器将水平级放置在主位置。接下来,操作员将晶片放在样品支架上,然后手动将其移动到几个定向位置之一。一旦晶片就位并正确定向，旋转表旋转，自动将晶片调整到固定数量的测试位置。在每个测试位置，刀具都能感应晶片的特征，并结合成像和力传感器技术测量平面和尺寸特征。然后，资产将晶片平移并旋转回其原始方向，并为下一个晶片的测量做好准备。循环完成后,模型将测量数据存储在RAM中或存储到外部设备中以进行进一步分析。KLA HRP 340配备了四种不同用途的处理工具，包括正向散射照明（FSI）和透镜（TL），用于测量各种平面特征。它可以在准确控制焦点的同时检测整个晶片的特征。电极尖端角（ETA）是一种用于评估尺寸轮廓的工具。基板轮廓（SP）工具用于测量晶片在舞台上时的垂直轮廓。总厚度工具（Total Thickness Tool，TTT）设计用来测量总晶圆厚度，以及其他尺寸参数。TENCOR HRP 340实现了可靠和可重复的晶圆测试和计量,从而实现了生产工厂的准确和生产过程。它旨在满足大量需求,降低成本并确保测量符合最高质量标准。此外，该设备能够在多个晶片和晶片批次上同时计量，进一步提高了生产效率和速度。