二手 KLA / TENCOR HRP 340 #9400332 待售
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KLA/TENCOR HRP 340是一种晶圆测试和计量设备，设计用于在制造过程中提供大直径IC和MEMS晶圆的快速、准确的无损测试。该系统采用高功率的紫外线激光光源与先进的光学计量单元耦合，精确测量半导体晶圆上微结构的厚度、平面平坦度、边缘直线度等物理特性。KLA HRP 340配备了先进的光学和探测器，使用户能够准确捕获计量信息。该机由430万像素激光干涉仪组成；自动对焦/自动对准功能、称为"二维轮廓测量"的高级光学测量技术以及自动参数计算工具。该资产专为测试和测量1英寸至8英寸的IC和MEMS晶片而设计,能够在不到一分钟的时间内完成所有必要的测量。TENCOR HRP 340提供了完整的缺陷检测功能,能够检测各种类型的缺陷,如针孔和蚀刻损坏。该模型还具有高通量能力，允许同时测试和分析每小时多达200个晶圆。此外,设备的自动化和用户友好界面使其易于设置和操作,并提供有关测量结果的实时反馈。此外，HRP 340还配备了先进的检查、分析和报告功能。该系统能够识别和测量无法检测到的缺陷或其他非维特征,然后将测量结果存储到板载内存中。此外,用户还可以轻松地将测试结果与预定义的限制立即进行比较。可选的附加组件TDK Level 200可以提供深入分析和完整的计量报告,作为晶圆测试的一部分。总体而言，KLA/TENCOR HRP 340是一个功能强大且高度先进的晶圆测试和计量单元，旨在测量半导体晶圆上微结构的物理特性。KLA HRP 340具有高通量、快速准确、自动化设置和报告功能以及高级缺陷检测功能,是寻求可靠且经济高效的晶圆测试解决方桉的半导体和MEMS制造商的理想解决方桉。
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