二手 KLA / TENCOR HRP & P Series #293597081 待售

KLA/TENCOR HRP&P系列是一个晶圆测试和计量系统，提供无与伦比的吞吐量和可靠性。KLA HRP&P系列旨在测量和校正晶圆级对接触、栅极和金属等临界层的工艺影响。非易失性存储器（NVM）层特别重要，因为它定义了晶圆制造性能的终极。TENCOR HRP&P系列使用尖端AutoSTAR™光学和电子束计量技术进行极其精确的NVM层测量和评估。SmartVue™的图像缺陷检测工具可实现可靠的缺陷识别和定位。HRP&P系列配置最大晶圆尺寸为300 mm,以及多个测量传感器,每个传感器都有不同的应用特定移动和设备范围。光学计量学利用高密度扫描和多级缩放来确保详细的缺陷检查、表征和分类。KLA/TENCOR HRP&P系列电子束计量学提供高分辨率、可重复和可调节的自动扫描，用于详细分析堆迭和层厚度完整性。此外，KLA HRP&P系列获得专利的高精度模具Die™特性提供了亚纳米精度的快速、精确的晶圆级薄膜厚度测量。这样可确保关键薄膜层符合工艺规范。TENCOR HRP&P系列系统提供高掩码吞吐量,最大每秒800nm用于模模测量,大大缩短了总体测量周期时间。HRP&P系列系统用于电路设计、高级半导体工艺表征和开发、3D集成、NTI/NTIP映射等高级计量应用。KLA/TENCOR HRP&P系列提供卓越的稳定性、性能、可靠性和准确性,以满足最严格的计量要求和过程关键层。它为行业领先的制造商提供了最高的样品吞吐量和经济高效的操作，使其成为生产控制和监测半导体晶圆制造过程的理想平台。