二手 KLA / TENCOR / ICOS T830 #9188177 待售

KLA/TENCOR/ICOS T830是一种先进的晶圆测试和计量设备,旨在快速分析各种设备和基板的物理特性。该系统基于最新一代的专有光谱成像和计量技术，允许对当今最先进的半导体晶片进行高通量、高精度、高性价比的检验和计量。KLA T830利用先进的光谱和成像能力，方便高速缺陷可探测性检测、3D缺陷检测、迭加测量以及多种光谱和成像算法。集成微观成像单元，或称MIS，提供14位辐射分辨率成像，并允许机器快速识别晶圆上的各种缺陷和粒子。该工具可以设置为同时对两个晶片进行测量和缺陷检查。ICOS T 830的计量模块提供集成的非接触式光学临界维度（CD）计量,包括高级3D映射和自动对焦功能。该资产的专门纳米级计量功能使TENCOR T830能够精确测量小型目标,例如在设备节点上找到的目标,而无需额外准备或校准。该模型还可用于各种其他计量任务，如粗糙度、深度、高度、步长和3D轮廓测量。为了确保及时和准确的结果,计量模块还配备了一个专有的AutoStage,它可以智能地驱动聚焦以快速获得最准确的结果。T830被认为具有提高吞吐量和复杂性的几个功能。其先进的光学设备可以快速获取数据，对移动物体的自动跟踪提高了可重复性。其智能软件套件融合了对多种参数的算法控制，包括引入校正算法，以优化多个探针的使用，使吞吐量更大，返工更少。KLA/TENCOR/ICOS T 830能够跟踪每台设备的多个晶片,大大提高了样品吞吐量。KLA T830提供了速度、精度和可用性的强大组合,以确保最先进的晶片满足晶片测试和计量需求。该系统是一个可靠的工具，有助于突破准确性和复杂性的界限，同时提供快速、经济高效的结果。