二手 KLA / TENCOR / ICOS T830 #9188785 待售

KLA/TENCOR/ICOS T830是为半导体制造设计的晶圆测试和计量设备。该工具在完全集成的平台中结合了测试、双面扫描和在线尺寸计量。该系统利用光学和电气晶片测试功能对各种设备类型进行测试，为用户提供可靠和精确的结果。KLA T830利用封闭的单级真空扫描装置一次处理两个晶片。它允许用户在晶圆尺寸之间快速转换,从而提高吞吐量。该机还提供单面和短晶片检测能力。除了其专用的双面扫描功能外,ICOS T830还提供了一套全面的前后光学、电气和尺寸测量。利用其专门的光学设计，T830可以用5倍还原光学工具获得直径达24英寸的晶片的高分辨率图像。在这种尺寸下，即使是最小的特徵如凹坑或裂缝，也可以被高细节地看到。该资产还利用平面内成像对整个模具表面进行缺陷覆盖,这有助于确保在测试和检查大型基板时不会遗漏缺陷。TENCOR T830提供了多种电气测试选项,包括四点接触、非接触式、开放短负载测试、电流测试以及各种其他电气参数测量。它具有多种测量机制，可以与专门的设备隔离和应力检测仪器相结合。利用其集成的尺寸计量，它可以测量模具尺寸、厚度和拓扑，以及不同晶片之间相同两点的偏移。KLA/TENCOR/ICOS T830除了具有测试和测量功能外,还集成了数据管理和报告功能。该工具记录的所有系统数据都存储在一个安全数据库中，授权人员可以访问该数据库。可以以各种格式生成和导出报告,从而允许用户查看和分析结果。总体而言,KLA T830是一种先进的晶圆测试和计量模型,旨在提供可靠的结果,同时降低半导体制造的成本和复杂性。其先进的特性和功能使其成为业界的宝贵工具。