二手 KLA / TENCOR / ICOS T830 #9218718 待售

KLA/TENCOR/ICOS T830晶圆测试和计量设备是一种高精度、先进的自动化解决方桉,设计用于半导体产量管理和表征过程开发。该系统配有高分辨率摄像头、电动采样台和全自动基板处理单元。该机器能够提供快速吞吐量、高精度测量以及结果的可重复性和可重复性的同时计量。它提供了通过获取不同种类的物理特性快速、精确地测量晶片特征的能力。该工具配有高分辨率数字成像和增强的逻辑和控制系统，用于复杂工程结构的视频速率成像，精度很高。它具有集成模式识别（PR）能力，协助操作员对SOI（绝缘体上的硅）和BCB（双苯环丁烯）等复杂底物进行可靠分析。资产利用多种计量方法，如光谱成像、2D和3D光学成像、散射法和动态椭圆偏振法来测量不同的性质。它用于阵列表征、跨晶片模具表征、缺陷位点和隔离分析、晶片网格奇偶校验测量和设备取向评估。随着分析与计量能力的融合，该模型具有强大的设备级收益率保证能力。该系统配有PCB（印刷电路板）检查和提供高保真成像的光学检查和计量。它采用模块化和可扩展性设计,提高了灵活性、准确性和吞吐量。其环保部件进一步提升了机组性能和稳定性，提供了成本效益。该机器与直观、交互式的软件平台集成在一起，能够实现统一、准确、自动化的报告和分析。其面向任务的编程允许快速设置过程和分析以实现特征识别。此工具还提供了各种工程和服务支持应用程序,使资产的实施更加容易。总之，KLA T830晶圆测试和计量模型是一种专门为半导体产量管理和工艺开发而设计的先进自动化解决方桉。它配备了高分辨率相机、电动采样台和全自动基板处理设备，使其能够提供具有快速吞吐量、高精度测量以及结果可重复性和可重复性的同时计量。此外,它还与直观的交互式软件平台集成在一起,并提供各种工程和服务支持应用程序。