二手 KLA / TENCOR / ICOS T830 #9376001 待售

KLA/TENCOR/ICOS T830是一种革命性的晶圆测试和计量设备，旨在提高晶圆生产的整体效率和准确性。该系统利用正在申请专利的计量和测试技术提供准确和可靠的结果，以确保最高质量和统一性。该单元由几个组成部分组成，所有这些组成部分共同努力，对任何给定晶片的状况提供全面和精确的看法。这些组件包括一个示例级、定位器、运动控制模块、各种传感器以及一个允许实时分析和补救的复杂软件包。KLA T830的样本阶段是所有测试和测量的主要平台。它采用精确的运动控制技术，实现了精确、可重复的晶圆定位和光型扫描操作，并实现了自动定心和点相位。这允许在任何给定位置对数据进行一致采样，以及区分个别缺陷的能力。舞台配备了一系列光学传感器，包括照相机、激光干涉仪、光谱仪。这些传感器可以实现高级成像功能,从而能够对不同材料的特性进行详细的可视化和表征。定位器是实现自动晶圆操作的工具。它由几个电动机、控制器、编码器和放大器组成，这些电动机、控制器、编码器和放大器允许晶圆通过计算机编程的命令进行精确和可重复的移动。这消除了手动操作的需要,从而提高了样品吞吐量,并能够在较短的时间内检查大量样品。ICOS T830的运动控制模块负责监控和执行定位器的运动。它们由特殊处理器、驱动逻辑和数字信号处理器组成。这些模块能够提供对晶片运动的精确控制，确保所有测量和测试都能准确、及时地进行。软件包是机器的决策组件。它具有直观的图形用户界面（GUI）和几种功能强大的分析工具,可以对晶片上存在的任何缺陷进行实时分析和补救。这使用户能够就生产过程做出明智的决策,并在必要时快速调整和优化它们。此外,该软件还可以与其他通用数据分析平台无缝集成,从而实现不同系统之间自动交换结果和数据。综上所述，TENCOR T830是一种革命性的晶圆测试和计量工具，可确保生产过程中的高精度和重复性。其精确的运动控制功能、复杂的成像功能和全面的软件包使用户能够快速检测和补救晶片上存在的任何缺陷。这提高了其产品的质量和统一性，同时提高了其运营的整体效率。