二手 KLA / TENCOR / INSPEX Eagle #293616824 待售

KLA / TENCOR / INSPEX Eagle
ID: 293616824
Patterned wafer inspection systems.
KLA/TENCOR/INSPEX Eagle是一款综合性晶圆测试和计量设备,旨在测量半导体器件的电气、物理和光学性能。KLA Eagle是一个模块化和可扩展的平台,能够处理具有高级分析功能的晶片的2D和3D图像。该系统包含一个内置的晶圆映射模块,允许用户快速准确地定位感兴趣的特征。此外,TENCOR Eagle还拥有一个集成的检测工具,可以检测和分析微观结构模式的不规则性,并检测极端均匀性问题。Eagle采用了多种强大的成像技术,既提供光谱分析,又提供图像的3D成像。它能够对反射和透射光数据进行单波长成像、紫外线成像和双波长成像,在一个包中提供最大性能。INSPEX Eagle结合了自动对焦和半自动晶片处理软件和硬件,以确保精确完成测量,并具备动态极端接近聚焦(EPF)和驱动平台的能力。这样可以确保高级数据捕获、灵活的映像和图像分析功能。KLA/TENCOR/INSPEX Eagle还体现了最先进的光学设计,融合了成像和计量光学透镜和滤镜,允许在单个平台上进行计量和成像而无需重新配置。此外,KLA Eagle被设计为高度可定制,允许用户修改单位的各种功能设置,如现货大小和自动对焦设置,以确定最准确的结果。此外,TENCOR Eagle还提供预测性维护分析和软件控制的晶片装卸。总体而言,Eagle是一款功能强大、用途广泛的机器,适用于半导体行业内广泛的成像、测试和计量应用。凭借其先进的光学设计、自动聚焦和晶片处理以及光谱成像和分析功能,INSPEX Eagle为要求最苛刻的应用程序提供了高度自动化和精确的测量。
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