二手 KLA / TENCOR M-GAGE 200/300 #293652075 待售

KLA M-GAGE 200/300是一种晶圆测试和计量设备，设计用于50纳米以下工艺。它具有前沿、光学检查平台和创新的、经过硅验证的垂直扫描技术。该系统配备了200或300毫米的自动装载站以及先进的自动对准功能,可实现快速、高效的结果。该单元中使用的专有传感器为用户提供高分辨率数据捕获功能。先进的光学器件和高灵敏度传感器可确保最小缺陷检测,而不会产生任何误报结果。此外，多相关技术提供了一个无与伦比的视图和量化评估晶圆的表面。M-GAGE可以识别随机、线缘粗糙度和广泛分散的粒子等最先进的缺陷。该机器具有高吞吐量，每小时最多可容纳200个晶圆，并包括流行的Align-Check技术，以快速对齐测试对齐。此工具设计为模块化,可根据客户的需要提供可定制的配置。可以对晶片执行广泛的测试和计量任务，包括工艺优化、焦平面检测、故障分析和边缘响应分析。集成的QualWafer软件管理所有设备和资产参数，创建一个可以快速执行测试的简单用户界面。此外,该软件还保持严格的审核跟踪,以允许跟踪和批量控制。功能强大的TENCOR M-GaGE 200/300型号是寻找可靠、精确、高效晶圆测试和计量结果的半导体制造商的理想选择。M-GAGE设备具有用户友好的设计、高性能的光学元件和先进的多相关技术,可提供卓越的数据完整性和工作效率。