二手 KLA / TENCOR M-GAGE 200/300 #293766227 待售

KLA M-GAGE 200/300是为半导体研究和生产应用而设计的先进计量和晶圆测试设备。该系统在单个集成平台中提供完整的计量和晶圆测试功能。它结合了先进的光学计量学和先进的机械测试能力，在确定设备性能方面提供了最高的精度和准确性。该单元提供晶圆厚度、平整度和剖面数据的完整表征，以及步高测量、层和材料识别以及各种电气参数。该机器利用先进的光学计量与机械测试能力相结合，允许精确测量和准确报告过程相关数据和设备数据。该工具采用独特的两级机电校准工艺,可确保精确的可重现测量结果和高精度的结果。两阶段校准可在所有测量中实现高速度和高精度,最大程度地减少产品可变性,并确保生产运行过程中的性能一致。资产还具有强大的数据处理模型,提供了一整套晶圆处理和计量功能。该设备可以集成Auto Fab、自动检查和SEM图像等数据源，允许对整个晶片进行全面分析。数据为生产或工程目的进行分析和存储,可用于分析晶片的每个特征并制定纠正、预防或产品增强策略。该系统由WinTec、Clear Edge和LightSphere等一系列流行软件平台提供支持。这些程序提供了全面的晶圆和设备数据采集和处理功能，使研究人员和生产人员都能快速准确地分析和解释晶圆数据。TENCOR M-GAGE 200/300是一种先进的计量和晶圆测试装置，设计用于着名的半导体研究和生产应用。凭借其先进的光学计量能力、机械测试和稳健的数据处理，这台机器为处理和检查一系列计量和设备数据提供了最高的精度、准确性和一致性。该工具肯定是任何半导体或器件研究和生产设施的重要资产。