二手 KLA / TENCOR M-Gage 200 #293749861 待售
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KLA/TENCOR M-Gage 200(Model 200)是一种自动化的先进晶圆测试和计量设备,用于微处理器、平板显示器和先进内存设备技术的加工和测量晶圆。200模型提供了一套全面的测试,旨在支持生产和产品资格要求。它可以测试多种晶片,包括硅和聚酰亚胺薄膜制成的晶片以及先进材料如氧化物、氮化物、介电和多晶硅。该系统还能够对所有常用的平面化材料和程序进行自动化表面/薄膜评估,包括先进的化学机械平面化工艺。KLA M-Gage 200 Model提供完整的晶圆映射,并使用高清晰度的彩色图形用户接口显示完整、实时的质量信息。该单元使用多向探测来精确覆盖整个表面积,借助每张单独的图形图可以查看和检查晶圆表面,然后可以与制造商的规格和既定的"已知良好"图形图进行比较。此外,TENCOR M-Gage 200机器提供了先进的测量工具,如参数化分析、直接晶圆绑定和计量数据聚合(MDA),以随着时间的推移识别、关联和跟踪过程关键材料/过程参数。此外,其强大的高清成像(HDI)和光度图像处理能力使其成为晶圆表面高分辨率检查和审查的理想选择。该工具的数据得到安全存储和保护,以保持持续的流程控制和流程相关信息的可追踪性。这有助于确保产量和产品性能。该资产还具有高级编程功能,使工程师能够自定义晶圆测试和关联的分析、自定义表参数、定义配方以及编程新的测试操作以满足更改的需求。总体而言,M-Gage 200 (Model 200)提供了一套全面的测试,旨在支持生产和产品资格要求。它与各种材料配合使用,提供准确的实时结果,具有强大的图像处理功能,并且在维护过程控制和可追踪性方面非常安全。KLA/TENCOR M-Gage 200模型有望成为技术进步不可或缺的工具。
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