二手 KLA / TENCOR M-Gage 300 #293749862 待售

KLA/TENCOR/PROMETRIX M-Gage 300是一种晶圆测试和计量设备,利用强大的3D光学剖面仪和获得专利的接触图像传感器（CIS）技术在生产过程中精确测量和分析半导体晶圆的地形特征。该系统自动化程度很高，能够同时测量数百个站点，甚至可以精确测量掺杂严重的设备结构。该装置还能够在任何关键尺寸上进行测量，从而在晶圆制造中实现更好的工艺控制。KLA M-Gage 300机的基本单元为Triple Sensor Head，结合了3 D光学剖面仪、高解析度的接触影像感应器和集成的激光基散射仪。这三个组成部分协同工作，为定量测量和缺陷分析提供了前所未有的准确性。该工具配备了一系列专门为半导体晶片生产和表征而设计的工具，如自动缺陷检测、表面质量评估、线缘轮廓等。TENCOR M-Gage 300资产还提供了几种独特的专利技术,例如用于高级3D测量的UltraGage。该模型能够执行超高速3D测量,其测量速度比传统技术快10倍。它还提供专有的增强型晶圆成像设备或EWIS。这项技术使用高功率激光器来检查晶片表面，而从未实际接触过晶片，提供了更精确和快速的表面测量。除了这些功能外,系统还具有许多提高生产力的功能,并且可以轻松集成到其他晶圆制造系统中。设备的用户友好GUI也有助于简化生产周期。其强大的设计使PROMETRIX M-Gage 300成为在最苛刻的生产环境中进行准确测量和缺陷分析的可靠选择。