二手 KLA / TENCOR M-Gage 300 #293830692 待售

KLA/TENCOR/PROMETRIX M-Gage 300是一种先进的晶圆测试和计量设备,具有先进技术的优势。该系统结合了两种最佳成像技术和高通量计量学的优势--光学和散射扫描技术的结合。光学成像技术允许以高达3000倍的变焦水平对晶圆进行高分辨率成像。该单元还将光学散射技术与高通量计量技术相结合,提供完整的晶片图像,其中包括太小而无法通过传统光学检查检测到的特征,从而能够对故障源进行详细分析,并有助于加快过程恢复时间。KLA M-Gage 300中使用的散射技术只允许0.5微米的缺陷覆盖率。这种晶圆测试和计量方法还提供了每小时10k晶圆的高吞吐量，与其他系统相比显着缩短了周期时间。TENCOR M-Gage 300的阵列技术也允许多种类型的检查和表征。通过高分辨率成像和散射技术的结合，该机可用于表层缺陷的检测、薄膜厚度的测量以及电气测试和表征。其他应用包括：缺陷和泄漏位置、门氧化物评估、门存在和电接触评估，以及局部和全局晶片表面分析。M-Gage 300的先进技术通过其光学技术进一步证明，它结合了一系列非球面和远心镜头以及20X的微距聚焦镜头，提供了优越的图像捕捉能力。照明工具采用Gen6佳能光源与扫描检流镜提供均匀照明和低温。该资产还配备了AccuScale,它在3000X放大倍数的情况下提供0.2微米的重复性,以及具有次像素精度的数据。PROMETRIX M-Gage 300的功能提供了高分辨率成像、高通量计量和各种测试选项,使其成为高效晶圆测试和计量的强大工具。