二手 KLA / TENCOR M-Gage 300 #9158625 待售

KLA/TENCOR/PROMETRIX M-Gage 300是一个集成的晶圆测试和计量系统,旨在为3 X纳米节点及以上的超小型几何产生高度精确的测量结果。KLA M-Gage 300结合了先进的工艺就绪计量工具，如APS（自动阵列结构）CD、OPC（光学接近校正）CD和缺陷检测（Defect Inspection，DFI）功能。它提供了10 nm以下的光学分辨率,与用于较大几何形状的传统计量工具相比,它减轻了测量的挑战。TENCOR M-Gage 300采用先进的采样级技术构建,可实现高通量测量的绝对精度和可重复性。采样阶段在计量和晶圆生产之间创建一个无缝的过程窗口，允许最大吞吐量，同时不牺牲精度。结果是周期时间更短，产量更高，产量提高。M-Gage 300集成了工艺就绪的计量工具，以跟踪和测量多层和关键的晶圆特征，如图样、焊料凸点以及柱子和螺柱。它还具有全层缺陷检测功能,使用各种检测算法为每一层提供全面的审核。使用OPC CD, PROMETRIX M-Gage 300可以捕获和分析其他可能降低产量的问题。KLA/TENCOR/PROMETRIX M-Gage 300的其他功能包括高级边缘ckt功能,这些功能可以快速准确地测量非常小的功能。它还支持具有均匀性和径向扫描功能的多个测量位置,以提高吞吐量和准确性。该系统支持掩模范围测量，在多个硅晶片尺寸上准确、可重复、可重复。直观的用户界面提供了简单易用的教程、脚本和报告。利用日志文件和板载跟踪功能启用了完整的可追踪性。最后,KLA M-Gage 300被设计为模块化和可升级,以便在其多年生命周期的未来发展过程中升级和增强其功能。