二手 KLA / TENCOR Omnimap RS75 / TC #9159115 待售

KLA/TENCOR Omnimap RS75/TC是一种晶圆测试和计量设备，设计用于分析纳米级的半导体晶圆，为工艺开发、工艺优化和缺陷发现提供高精度的结果。RS75/TC系统能够收集和提供超高精度、高速和多面成像。它使用高级光学和高精度级创建具有自动聚焦的图像,然后使用CMOS检测器捕获这些图像。这允许精确测量表面轮廓、缺陷、粒子计数以及晶圆的各种其他特性。该单元具有高速级功能,可在成像区域中快速移动样品,从而实现高吞吐量和逼真的测量。它还具有直观的触摸屏界面，方便用户快速设置正确的测量参数。机器也是高度自动化的，使得它易于使用和提供快速的结果。而且，RS75/TC工具配备了超高灵敏度计量检测器（UHSM），可以检测样品的膜厚度、成分和其他物理性质的变化。该检测器还提供了一系列强大的分析工具来促进过程优化。此外，该资产还附有独家成像软件套件KLA Automap，旨在快速评估样品表面轮廓。具有测量坡度、粗糙度和截面的能力，可用于确定工艺条件。此软件的其他功能包括模板设计和用户修改支持,以实现更精确的测量。最后,KLA Omnimap RS75/TC设计用于各种应用,如映射微尺度形态、表面缺陷、弱点识别、缺陷表征等。该设备非常适合过程开发、过程优化和缺陷发现,可提供高精度、高速和高通量的测量。