二手 KLA / TENCOR OP3290 #9142578 待售

KLA/TENCOR OP3290是一种晶圆测试和计量设备，用于检查半导体晶圆上的电路结构，以了解器件产量和工艺、产品和器件性能。它常用于微电子和光子学行业，以帮助提高制造速度和提高成品质量。KLA OP3290提供可靠、可重复的测量，如临界尺寸（CD）、氧化、掺杂、蚀刻深度和缺陷计数。TENCOR OP 3290是由高分辨率光学显微镜、高分辨率CCD相机和高速光谱仪组成的自动化晶圆测试系统。光学显微镜使用户能够检查晶圆上的电路结构。CCD相机提供了一个强大的工具，用于捕捉电路结构的高分辨率图像，以及产生对关键尺寸（CD）和电路其他特征的详细分析和定量。该光谱仪用于测量电路结构中存在的不同材料的组成和浓度。TENCOR OP3290能够测量、分析和评价晶片的厚度、表面平面度、CD、掺杂浓度、氧化水平、蚀刻深度以及晶片结构的其他方面。它拥有多种自动化晶圆测试和计量工具，包括LaserMetrology、Auto-tracking和Stage Scan。LaserMetrology模块用于测量晶圆上探针膜的厚度、表面特征的平整度以及电路层的厚度。自动跟踪模块可以快速准确地测量临界尺寸（CD）和横向偏移。Stage Scan模块允许自动映射和成像整个晶圆表面。KLA OP 3290是一个高级单元,具有可定制的用户界面和各种软件工具,用于显示数据、执行计算和生成报告。它还包括用于缺陷分析和表征的缺陷分类和参数库。该机被设计为可与多种半导体材料配合使用，包括硅、砷化氙、磷化氙和硅上绝缘体（SOI）。KLA/TENCOR OP 3290工具是生产最优质产品的重要工具。它的高分辨率光学器件、自动化晶片测试工具和强大的缺陷分析软件使它成为现代半导体制造工艺的宝贵补充。