二手 KLA / TENCOR Optiprobe 3260 #9269305 待售

KLA/TENCOR Optiprobe 3260是一种先进的晶圆测试和计量设备,专为先进的质量和过程控制而设计。KLA Optiprobe 3260支持一系列晶圆参数，如表面地形、微缺陷以及自动缺陷分类。TENCOR Optiprobe 3260利用扫描探针显微镜测量晶片表面拓扑。该系统包括一个可检测直径小于5 μ m的粒子的快门传感器。通过光学显微镜，设备能够检测晶片中的微小缺陷或损坏。该机还包括用于高分辨率图像扫描和分析的高级光学器件。Optiprobe 3260包括一个优越的探测工具，使用高精度的检查来检查广泛的模式。资产还具有专有的数字缺陷分类（DDC）算法,可根据其大小和形状自动对任何已识别的缺陷进行分类,并允许高级流程控制。此外，KLA/TENCOR Optiprobe 3260有一个专有的迭加模型，精确测量晶圆的迭加精度。KLA Optiprobe 3260包括先进的模式识别和缺陷还原技术，以大大减少误报并缩短测试周期时间。该设备还具有自动化测试软件，使制造商能够快速编程和运行测试以获得最佳结果。对于高通量生产,TENCOR Optiprobe 3260具有快速切换传感器,使制造商即使在高通量条件下也能保持质量和吞吐量。此外，该系统还具有先进的数据分析和报告能力，可以在测试周期中精确比较晶圆，进一步实现自动化过程控制。Optiprobe 3260的数据分析和报告功能包括索引和比较晶圆的能力,以及确定产量和工艺效率指标的能力。该单元还提供针对客户特定需求量身定制的自定义报告。KLA/TENCOR Optiprobe 3260符合晶圆测试和计量的最高标准。高级硬件、专有算法和可靠的数据分析/报告功能的独特组合确保了制造商接受一流的性能测试和优化。