二手 KLA / TENCOR P-170 #293799729 待售
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ID: 293799729
优质的: 2020
Surface profiler
Chuck, 8"
Cassette, 8"
Wafer type: LT / BD / SI
SECS / GEM
Automatic transfer hander
Wafer thickness: 200 µm to 675 µm
Alignment for notch and flatted wafers
Constant stylus focus control
(5) Measurement heads
Monitor
Dual view optics (top and side)
Field of view: 850 x 1200 µm
Digital camera: 5 MP Color
Motorized level and theta axis
Stylus with radius: 2 µm
ProCal Wafer, 8"
Controller
Laser
Dongle
Operating system: Windows 7
PC
Manuals
2020 vintage.
KLA/TENCOR P-170是为半导体和先进材料研发而设计的晶圆测试和计量设备。它提供了一套全面的测试、测量和表征能力,使材料研究人员能够快速准确地了解半导体和先进材料的电子和结构特性。该系统的核心是一种新型的6轴高度集成扫描探针显微镜(SPM),它结合了纳米尺度分辨率和高精度扫描仪。这种组合使用户可以在单个扫描中对晶片的整个表面执行复杂的测量,从而能够快速而详细地分析材料属性,如接触电阻、地形和设备性能。该设备还配备了高速3D分析机器,该机器使用低相干激光源,加上定制设计的硬件和软件平台,在几秒钟内获取晶圆特征的轮廓,为纳米级特征的交互式细化和可视化提供了宝贵工具。KLA P-170的其他功能包括高级芯片设计和布局功能、集成计量学算法、独立于温度的自检例程以及用于增强分析的一整套软件。直观的图形用户界面简化了从工具中设置、运行和分析数据的任务,使经验丰富的用户和新手用户都能以最小的努力获得准确的结果。总体而言,TENCOR P-170建立在多年业界领先的研发基础之上,为用户提供了强大可靠的半导体和先进材料测试和计量能力。从快速晶圆剖面分析到精确详细的孔隙分析,P-170提供了无与伦比的洞察力和对材料的电子和结构特性的分辨率。
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