二手 KLA / TENCOR P-170 #293800460 待售
网址复制成功!
单击可缩放
KLA/TENCOR P-170晶圆测试和计量设备是一个高性能的计量平台,提供晶圆、半导体和MEMS器件的精确、自动化的测量和分析。KLA P-170具有先进的光学计量能力,能够准确分析晶圆生产环境中的器件特性。它提供先进的非接触成像和设备分析,提供了一种可靠的测量和量化晶圆性能的方法。TENCOR P-170具有电动晶片级、集成光学子系统和直观的用户界面,便于操作和设置。机动化级将晶片移动到一系列位置,准确精确,从而可以分析晶片上的所有平坦区域。光学子系统由高分辨率相机组成,可以随着舞台的移动检测晶片上最小的特征,创建晶片地形的详细图像。直观的用户界面允许快速设置和数据输入,以便于工作流。P-170还具有高精度定位和对难以进入的区域进行间隔器对准的能力。KLA/TENCOR P-170可以测量广泛的特性,包括在半导体制造中常用的关键参数如CD和迭加。该系统可以测量具有亚纳米精度的器件尺寸以及平面面积特性,从而能够快速识别制造过程中任何可能的不符合。KLA P-170还能够对设备进行高效的自动分类和映射,从而简化了对生产线中晶圆的分析过程。对于自动化的生产环境,TENCOR P-170提供了高级功能,如AutoFocus,它允许在35秒内连续测量CD或组成。该单元还具有高速索引和地形校正功能,保证了所有测量中的顶级均匀性和准确性。此外,P-170还提供了与生产线的其他工具或部件集成的灵活性,从而简化了流程。总体而言,KLA/TENCOR P-170晶圆测试和计量机是一种多合一解决方桉,能够对晶圆、半导体和MEMS设备进行快速、精确和可重复的分析。凭借其先进的计量能力、高精度测量、直观的用户界面和先进的自动化,KLA P-170提供了一种准确、高效的生产环境中晶圆分析方法。
还没有评论