二手 KLA / TENCOR P-6 #293592892 待售

KLA/TENCOR P-6是为高端半导体生产应用而设计的下一代晶圆测试和计量系统。该设备结合了晶圆测试和测量的最新技术-提供高精度和高分辨率结果以及短周期时间。该系统能够探测、测试、测量和分析许多不同的半导体材料和器件，包括Flash、NOR和NAND存储器、逻辑和射频集成电路（RFIC）。它具有几个硬件组件,包括配置控制、基于CCD、高分辨率2D光学显微镜和自动XY级。显微镜包括一个Colibri 3200 F2 CCD探测器和高质量的目标，提供了一个符合人体工程学和用户友好的环境，以快速检查和分析各种材料和设备。该单元还带有一个自动图像识别算法库，可以帮助识别不同的缺陷。对于晶圆测试，该机配备了最先进的参数测试工具和全十针接触器。测试资产可以以毫秒为单位执行高带宽测量。高速模式编程工具和集成的自动聚焦、调平和产品分类工具提供了由机器人控制的晶圆测试。该模型还包括一个集成的厚通电薄膜条带工具，用于深入分析感兴趣区域的薄膜厚度。这允许实时的串联膜厚度测量,以确保获得最佳结果。KLA P-6设备还配有一个可容纳多达5个模块的炮塔和一个校准装置，以确保准确和可重复的测试结果。光电电缆控制系统允许在不同的光电、CMP和接触器配置之间自动切换,从而缩短了循环时间。TENCOR P6提供了业界最先进的晶圆测试和计量系统之一。其灵活的设计、高精度以及组合的测试和计量能力使其成为高端半导体制造应用的理想选择。