二手 KLA / TENCOR P-7 #293632302 待售

ID: 293632302
Film thickness measurement system.
KLA/TENCOR P-7是为先进半导体器件生产而设计的晶圆测试和计量设备。它提供了一个全面的计量套件,允许操作员评估晶片上的参数,如薄膜厚度、线宽、迭加和晶体管性能。它提供了一种集成、自动化和可重复的方式,以快速、无侵入的方式精确地表征晶圆特征。KLA P-7采用先进的光学和硬件,提供卓越的分辨率、速度和可靠性。为实现这一性能,系统采用多通道、多功能照明技术,快速可靠地测量和分析晶片表面的特征。高分辨率成像单元自动检测缺陷、表征关键尺寸,并执行FIB成像以进行快速分析。它还可以高精度读出大模具(300mm)。同时,该机具有支持大面积模式识别和模模匹配的先进模式匹配算法。TENCOR P7能够快速准确地获取和处理数据。其板载数据处理算法和数学函数允许分析和识别优化设备性能的过程,并具有相当大的可重复性。该工具还配备了直观的图形用户界面(GUI),具有易于理解的功能和菜单。此外,该资产还具有高效的内置热管理模型,可确保温度稳定、精度和控制。这确保了晶圆测试和计量的最高精度,无论温度如何.此外,该解决方桉具有很高的容错性和故障安全性,确保测量安全、可靠和准确。总体而言,KLA/TENCOR P 7晶圆测试和计量设备是先进半导体器件生产的绝佳选择。其集成的解决方桉、高效的热管理和强大的数据处理算法使其成为快速、准确地测量和分析晶圆表面特征的完美工具。
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