二手 KLA / TENCOR P-7 #293665117 待售

ID: 293665117
优质的: 2022
Film thickness measurement systems Auto theta stage 3D+2D/3D Stress analysis 2022 vintage.
KLA/TENCOR P-7是为制造半导体元件而开发的晶圆测试和计量设备。它对晶片进行了精确的分析,以优化工艺控制和产量。KLA P-7结合高分辨率成像和强大的计量能力,用于晶圆测量和缺陷检查。该系统采用模块化设计,允许灵活配置,允许用户构建最适合其规格和需求的单元。其电机和控制器在运动控制方面提供了更高的精度,提高了测量的可重复性。该软件还支持自动晶圆级测试以检测早期流程问题。TENCOR P 7还提供了改进的成像能力,包括各种CCD探测器如sCMOS和TDI,以及一系列照明选项,包括暗场、亮场、差分干涉对比度(DIC)和Nomarski。这些选项可以结合起来,在检测微妙的光学现象方面提供更高的精度。为了精确测量晶片上的图样,P-7还具有高性能的高分辨率计量能力,能够测量低至5nm的关键特征。这样可以准确测量阵列间距、关键尺寸和其他功能,以确保设备性能和可靠性。P 7还提供了专门的传感器、范围、光谱和专门的计量模块的组合,为晶圆测量和缺陷检查提供了最全面的一套工具。这种技术组合为用户提供了精确晶圆测试和分析的完整解决方桉。总体而言,KLA P 7提供了功能强大且用途广泛的晶圆测试和计量机器,旨在优化半导体器件的过程控制、产量和性能。它结合了成像、计量以及专门的传感器和瞄准镜,为用户提供了一个易于配置的工具,可以精确地测量和检查晶圆。
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