二手 KLA / TENCOR P1 #293643497 待售

KLA/TENCOR P1是一种下一代的自动化晶圆测试和计量设备。它将工程精度和测量精度与直观的图形用户界面和自动化过程相结合,以满足当今大批量生产的需求。KLA P-1系统能够处理最大12英寸大小的全晶片,支持单晶片和批处理模式操作。TENCOR P 1单元最多使用三套计量头模块，每个模块都有自己的集成硬件组件，组成一个单一的进程单元。每个模块都包含先进的光学和精确运动控制系统，以确保最高精度和可重复性。该机还配备了激光自动对焦，方便了测量平面与晶圆平面的简单、精确设置和快速对准。晶圆测试和计量过程从在特定配方中加载晶圆开始。诸如曝光水平、目标焦点、测量平面和测量点等参数由操作员选择。光学测量和检查晶片的厚度、几何形状、缺陷、覆盖、焦点和地形。该过程的结果以小于一微米的精度传递给用户。为确保精确测量,KLA/TENCOR P1工具采用KLA专有的True Angle技术。该技术通过确保测量平面始终垂直于晶圆平面，降低了测量误差，提高了结果的一致性。该资产还具有直观的图形用户界面来指导操作员和简化日常功能。P1还提供一系列全面的控制和数据采集功能。其集成机器智能（MI）平台以集成的监控功能监控晶圆测试操作。MI平台还可帮助操作员实时排除流程任何阶段的任何问题。总体而言，TENCOR P1是一个强大、直观、高效的晶圆测试和计量模型。设备提供准确、一致的测量结果,并将其快速传输给用户。它结合了系统、技术和功能,使其成为成本敏感型和批量生产设施的理想选择。