二手 KLA / TENCOR P1 #9283641 待售

ID: 9283641
Surface profiler.
KLA/TENCOR P1是一种晶圆测试和计量设备,专为满足现代微电子工厂的需求而设计。该系统为各种半导体晶圆技术提供了可靠、精确的计量结果。它采用先进的照明和探测器技术,能够在晶圆级实现快速、准确和可重复的结果。该单元结合了光学显微镜成像和测量晶片,以及象限检测器,以提供高精度和细节的晶片级数据。KLA/TECNOR KLA P-1利用干涉测量、衍射、光学轮廓分析、图像处理和多式联运扫描等多种检查技术进行真正全面的测量和分析。该机具有510 nm波长激光束和可变角度窗口的可调照明功能,可提供精确的照明和消除阴影。Advanced 3-D PreSight Technology补偿了图桉照明过程中的不均匀性,确保了结果的准确性和可重复性。TENCOR P1还采用了一种独一无二的光学计量工具,可以测量晶圆厚度、表面粗糙度、步高和平坦度。TENCOR/TECNOR TENCOR P1预配置的资产可测量超过5个不同的晶圆地形和厚度值,从而最大限度地减少了晶圆级测量的设置时间。此外,KLA P1还具有双视图技术,能够在x和y方向同时进行晶圆图像采集和测量。这是由模型的特殊拆分孔径机构启用的,它提供了高水平的场分辨率。KLA/TENCOR P1为晶圆级测试和计量提供了全面、统一的解决方桉。其独特的成像和计量学技术可实现准确和可重复的结果,而其可调节的照明和双视图功能为这种强大而有效的测试设备提供了额外的优势。
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