二手 KLA / TENCOR P10 #293590380 待售
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KLA/TENCOR P 10是一种晶圆测试和计量设备,设计用于分析晶圆级的IC器件。KLA P-10配备了三轴串行接口,可提供高精度数据采集、快速测量和自动化服务。该系统能够检测到0.25 μ m至0.75 μ m的故障状况和物理缺陷,可集成到现有生产线中。TENCOR P 10单元包括对齐、测量(光学)、分析和WordNet工具四个子系统。Alignment子系统提供了高级自动对齐和背景校正功能,可实现高度精确的对齐和轨迹测量。测量子系统包括一个先进的偏振显微镜,提供高信噪比和对比度增强。此外,该机还配备了强大的图像处理算法,在保持信号保真度的同时将失真效果降至最低。Analysis子系统围绕强大的信号分析引擎构建,允许识别和分类小至0.25 μ m的缺陷。WordNet软件对此子系统进行了补充,确保对检测到的缺陷进行正确分类。Tool Application Controller (SAC)还使TENCOR P 10能够提供高级操作,如自动设置和晶圆级诊断。此外,SAC对于将TENCOR P-10集成到现有测试系统中至关重要。P10采用可靠可靠的技术构建,是IC生产线必不可少的工具。其精度、精度和速度使其成为缺陷识别和晶圆测试的理想选择。资产的功能使其能够区分虚假缺陷和真实缺陷,从而帮助确保最终IC设备的最高质量。
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