二手 KLA / TENCOR P10 #293643963 待售
网址复制成功!
KLA/TENCOR P 10是一种晶圆测试和计量设备,设计用于半导体计量和光刻。它采用专有的"多波长密集波分复用(MW-DWDM)"技术进行光学计量和缺陷联合检测,从而能够快速准确地分析半导体光刻和计量特征。KLA P-10的核心组件是其二维(2D)自适应扫描能力、高灵敏度光学系统和先进的分析工具。该设备的2D自适应扫描与MW-DWDM技术相结合,实现了缺陷点的快速准确的定点和晶圆映射。高灵敏度探测器可以减少执行测量所需的光量,而机器的高级分析工具和自动化控制软件可以快速识别、评估和定位样品中的缺陷。TENCOR P 10还采用了专有的极化成像工具来更准确地检测新的对峙异常和缺陷。该资产利用四个光学透镜和高分辨率互补扫描来识别微妙的计量和光刻缺陷。偏振成像模型提供了更好的晶圆覆盖范围,有助于减少光学串扰。P 10的自动缺陷检测功能与KLA/TERNOC的"MetCam"设备集成在一起,这有助于在一次扫描中检测、分类和分离多层缺陷。MetCam的独特算法可以准确检测和分类缺陷和特征,降低昂贵的误报率。KLA P 10还具有先进的光学计量系统,结合了自动聚焦和自动映射功能,用于精确测量和快速晶圆映射。该设备高效的样品处理和光学机器使得能够在几分钟内处理多个晶片,从而实现高效、经济的数据采集和分析。KLA/TENCOR P-10可适应多种示例格式,非常适合在一系列应用程序中使用。它的模块化、开放式体系结构允许将其放大或缩小以满足特定应用程序的需求。KLA P 10的设计具有成本效益,其坚固的构造使其可靠耐用。总之,P-10是一种高性能晶圆测试和计量工具,能够快速准确地分析半导体光刻和计量特征。它提供了先进的功能,包括可靠的缺陷检测、高效的样本处理、高分辨率的光学计量以及用于快速数据采集和分析的自动化控制软件。该资产模块化、适应性强、成本低,对任何半导体计量和光刻应用都具有重要价值。
还没有评论