二手 KLA / TENCOR P10 #293662984 待售

KLA/TENCOR P 10是一种晶圆测试和计量设备，设计用于快速准确地测量和检查半导体晶圆和其他基板。它与先进的光学、硬件和软件集成在一起,可在广泛的晶圆和基板上实现自动化、非接触式计量、检查和缺陷定位。该系统能够实现高度精确的测量，可配置用于各种测试应用，如测量薄膜厚度、表面地形、粒径和组成。KLA P-10利用先进的光学器件来捕获晶圆或基板的图像。它采用双目成像单元，配有三个激光器和三个红外照相机，以获取晶圆或基板的精确3维图像。然后,机器可以快速评估和提取图像中的各种测量值,例如高度、宽度、深度、表面轮廓和薄膜厚度。其他功能包括缺陷检测、线宽测量、迭加测量和平面空间检查（FSI）。TENCOR P 10具有嵌入式触摸屏界面，为编程和控制工具提供了易于使用的界面。触摸屏还允许用户快速访问测试报告和结果。资产还具有可选的自动晶片处理模型,使用户能够在不同的基板之间快速切换,而无需手动重新对齐光学器件。TENCOR P 10高度可配置,支持多种功率、速度和分辨率设置,以满足广泛的测试和计量需求。该设备还具有先进的模式识别功能,可提供有关难以捕获的特征（如亚微米特征、污染物和其他细微缺陷）的详细反馈。总之，P 10是一种先进的晶片测试和计量系统，旨在快速准确地测量和检验半导体晶片和其他基板。它配备了先进的光学器件，以及用于自动化、非接触式计量、检查和缺陷本地化的软件。该设备高度可配置,支持各种功率、速度和分辨率设置,以满足广泛的测试和计量需求。