二手 KLA / TENCOR P10 #293751600 待售

KLA/TENCOR P 10是一种多功能晶片测试和计量设备，旨在以经济高效的方式提高半导体晶片的质量、性能和可靠性。该系统提供了广泛的高级工具表征功能,用于检查和测量300 mm晶圆。该单元提供了四种工具配置的选择，并配备了先进的高速光学检测算法、自动可调谐波谱椭圆偏振、2D和3D缺陷成像、智能模式识别和过程控制。该机器还提供自动化和高精度的3D曲面测量功能,用于精确的曲面表征。KLA P-10具有密封晶片室,可实现最高温度控制和均匀性.加氢的00级和100级层流配置保证了高通量晶圆测试和计量性能。支持广泛的物理和化学测试能力，包括光致发光、二次电子成像、光发射光谱（OES）、X射线光电光谱（XPS）和扫描电子显微镜（SEM）。该工具具有智能双面测量功能,能够从两侧同时进行样品测试。它还支持自动化的样品准备和处理，允许高效和无错误的样品调节。该资产包括用于自动测试程序执行的库接口和用于进一步分析的结果获取。该模型还提供了独特的Alibi模式，能够在不影响设备性能的情况下同时进行计量和测试。TENCOR P 10的强大功能和可选附件使其适合各种自动化测试过程。它还可以轻松地与其他现有工具和生产线集成,从而实现更高效、更集成的制造过程。