二手 KLA / TENCOR P10 #293755051 待售

KLA/TENCOR P 10是为半导体制造和分析而设计的晶圆测试和计量设备。它能够对高级工艺进行生产测试和在线计量分析。KLA P-10使用两台高速晶圆映射相机从晶圆表面捕获几何信息。然后分析这些数据并将其存储在高效的数据库中,从而可以从单个晶圆中获取复杂的测量值。用于生产测试，TENCOR P 10可用于检测和分类晶圆缺陷。该系统能够检测到微裂纹、凹坑和短线等小缺陷。它还可以测量晶圆的表面粗糙度、线宽、临界尺寸和地形。然后使用这些测量来优化工艺参数并确保产品质量。对于在线计量分析，P 10可以测量晶片的厚度、均匀性和电阻率。它还可以测量各个层的深度，以及层的组成。这允许用户分析设备的晶片配置文件,并可视化特定过程对最终产品的影响。TENCOR P-10单元还提供了多种自动化功能，简化了操作员的工作。这些包括自动对齐、自动配置文件生成、自动对焦和自动晶圆映射。机器也是高度可定制的，允许操作员配置硬件和软件，以最适合他们的过程。总之，TENCOR P 10是一种强大的晶圆测试和计量工具，能够同时进行生产测试和在线计量分析。其先进的功能使其非常适合高端半导体制造和分析应用。它的自动化功能、可配置的硬件和软件,以及易于操作,使其非常适合希望提高流程质量和产量的用户。