二手 KLA / TENCOR P10 #293806945 待售

KLA/TENCOR P 10是一种晶圆测试和计量设备,专为过程控制、故障分析和前端过程集成等多种应用而设计。该系统使用了一种专有的光学技术，称为轮廓光束传递，以精确和快速地成像晶圆表面到纳米级。它可以精确检测颗粒、缺陷和线宽。该单元的成像技术从20倍显微镜物镜开始，使用电动级扫描晶圆表面，而激光束梯度移动以匹配样品轮廓。这样可以确保观察到的是真实表面的近似表示,而不是仅限于平坦表面的典型光学系统。轮廓波束传输还提高了信噪比,提高了精度和吞吐量.但是,机器可以收集的数据多于过程控制所需的数据,从而在需要时提供灵活的评估功能和高级故障分析。KLA P-10提供了超过大多数光学系统的高分辨率,拥有1倍景深的0.1nm层厚度成像和1倍景深的0.02 nm特征成像。它还具有市场上最好的成像速度之一,能够在不到18秒的时间内扫描多达800 x 400 mm的同步视场。除了光学之外，TENCOR P 10还包括几个复杂的光学分析、过程控制分析、晶圆级统计和故障分析模块，使工具用户能够快速准确地评估晶圆。该资产的多光束技术提供了对2D和3D表示中每个晶片缺陷的指尖访问,使其成为市场上最可靠、功能最强大的系统之一。KLA P 10还内置了许多其他技术,包括自动非接触尺寸测量、自动地形测量以及自动/分析深孔和基准检测。这些功能加上出色的成像功能,使TENCOR P-10成为各种晶圆测试和计量应用的理想解决方桉。