二手 KLA / TENCOR P10 #293807273 待售

KLA/TENCOR P 10是一种晶圆测试和计量设备，设计用于在制造过程中提供对半导体晶圆关键工艺参数的高性能和精确测量。它利用先进的激光、反射计和散射计量技术，在每一个单独的处理步骤收集极精确的数据。该数据用于提高晶圆产量和产量以及工艺控制.KLA P-10系统由主室、光表、晶片处理单元、激光源子系统、晶片采样/测量子系统和数据转换子系统等主要子系统组成。主室容纳了光学台和晶片处理机，并针对低温低振动操作进行了优化。光学台由光学平坦的超低质量花岗岩构成，包含晶圆采样/测量光学器件，如激光源子系统和遥感工具。激光源子系统由激光、反射计和各种检测光学器件组成。它旨在从晶片上的激光源收集精确的数据。晶圆处理资产是一种12轴电动模型，带有光纤耦合器，提供所有6个方向和3个角度的运动。晶片采样/测量子系统包含晶片支架、样品/测量室、光阵列和几个可调构件。光阵列由一系列透镜和光源组成，这些透镜和光源是精确详细的。数据转换子系统将测量的数据转换为结构化信息，可对其进行分析以进一步优化流程。TENCOR P 10设备的设计实现了高精度和重复性。它能够分析从几微米到几百微米的各种晶圆深度，以及提供整个晶圆的均匀性测量。P-10系统中的高级算法还可以实现精确的晶圆参数映射。测量单元装有0.2微米分辨率的成像机，用于探索口罩和系统。总体而言，KLA P 10晶片测试和计量工具旨在提供晶片加工参数的准确和高度精确的数据，从而实现更大的工艺控制和更高的晶片产量。凭借其先进的激光、反射计和散射计量技术，这一资产可以为半导体制造提供可靠、可追溯的记录。