二手 KLA / TENCOR P10 #293813796 待售
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KLA/TENCOR P10晶片测试和计量设备是一种完全集成的晶片检测和测量自动化解决方桉,为客户提供检测和表征缺陷、绘制器件参数和分析晶片数据的能力。该系统结合了先进的成像技术、扫描电化学显微镜（SCEM）和电阻率测试,以及一整套自动化过程,能够精确检测、分析和报告缺陷。KLA P-10的核心是多光束速度散射（MVSC）成像技术。该单元使用激光高速扫描晶片表面，生成特征、缺陷和特征特征的高分辨率图。MVSC机还检测材料类型并进行电阻率测试以识别样品成分。TENCOR P 10还配备了微光谱仪，它提供了定量测量和表征能量相关数据的能力。微光谱仪有助于检查和成像极小的缺陷，以及表征反射率低的材料。除了成像之外,KLA/TENCOR P 10还配备了扫描电化学显微镜（SCEM）工具。该资产使用微米级电流探测晶圆的化学结构。通过将扫描电化学显微镜与MVSC成像相结合-TENCOR P 10能够识别和表征电蚀刻痕迹、光致抗蚀剂残留物和其他传统成像系统通常无法检测到的缺陷。KLA P 10还具有一套自动化流程,包括缺陷映射、产量分析和报告。这些自动化过程使得快速、精确地检查和测量晶片成为可能，这对于时间是金钱的行业来说尤为重要。KLA/TENCOR P-10晶片测试和计量模型是一种革命性的晶片测试和计量自动化解决方桉。它结合了先进的技术和自动化的过程,能够检测和表征即使是最小的缺陷-导致成本较低的缺陷和更高的产量。
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