二手 KLA / TENCOR P10 #9035604 待售

KLA/TENCOR P 10是一种高性能晶圆测试和计量设备，设计用于先进的前端半导体器件测试。它具有高度可靠的光学计量系统,能够在200毫米大小的各种半导体晶片上进行极其精确的晶圆和像素电平测量。该单元拥有先进的视觉机器，可以检测和分析小至几纳米的特征，具有测量晶圆级特征和电阻模式的能力。KLA P-10由几个不同的组成部分组成,它们共同提供精确的计量测量。其光学计量功能由全场光学发动机提供动力，具有连续优化晶圆轨迹（COWT）工具，使得全场测量成为可能。该COWT资产旨在消除像差,从而确保对具有各种形状和复杂程度的晶片进行精确测量。此外,TENCOR P 10还配有具有晶圆极值（WEL）模型的成像模块,可精确测量临界晶圆水平。KLA/TENCOR P 10还具有业界领先的照明设备,该设备由天然和人工源组成,旨在在整个晶圆表面提供一致的测量结果。该系统还包含一个低角度长间距（LALP）单元,可最大程度地减少现代晶片曲率造成的图像失真,从而确保任意角度的精确测量。P-10设计用于测量各种参数,包括缺陷尺寸、形状特征、薄膜厚度、电阻率等。它利用Optic Security Version （OSV）技术为测试结果的机密分析提供了一个安全的数据环境。OSV技术集成了加密、身份验证和安全的联网功能,可保护用户数据免受潜在的外部干扰。在机器性能方面，KLA/TENCOR P-10提供高速全场计量，读取时间高达每小时40个晶圆，精度为+/-1nm，是晶圆高效可靠的测试计量工具。该资产具有非常精简的用户界面,可以方便地操作设备,并能够存储和查看易于导出的测试结果以进行进一步分析。