二手 KLA / TENCOR P10 #9197218 待售

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ID: 9197218
Surface profiler.
KLA/TENCOR P 10是一款面向半导体行业的先进、综合性晶圆测试和计量设备。它是为多站点晶片检查而设计的,在关键工艺层上提供了可重复和可靠的测量和尺寸确定。KLA P-10系统包含一整套检查、特征描述和计量功能。该设备具有快速、精确的晶片级,可快速设置设备配置和精确测量。这与高度灵活的光学布局相结合,可以实现极其广泛的应用。直观的用户界面简化了机器的实现和使用,提供了更高的生产率和流程可重复性。该工具专为可扩展的实施和增长而设计。它能够集成多达十个流程和计量工具以及十六个摄像头,以提高资产效率。凭借其模块化架构,它还允许为定制应用程序添加第三方硬件和软件包。TENCOR P 10模型包括自动特征识别和分类功能,使其能够检测多个晶圆中的异常特征和与过程相关的特征。采用三维图像处理技术,采用先进的新缺陷检测算法,能够无与伦比的精确测量晶圆表面垂直地形。从这种成像设备收集的数据可用于进一步的计量提取和分析。KLA P 10包括一个集成的缺陷图特征,用于全面的缺陷检测。系统从多个角度测量模式,以防止对特征进行错误分类,以及改进晶圆通过率/故障率。它还配备了用于尺寸数据提取和提高检测速度的集成自动对焦单元。KLA/TENCOR P-10灵活的机器设计提供了与各种工厂自动化选项的兼容性。它与客户生产管理系统无缝集成,以实现频繁、准确的测量。它还提供强大的联网功能,确保生产工具和KLA工厂自动化解决方桉之间的高效通信。总体而言,KLA/TENCOR P 10是半导体行业先进、高度可靠、直观的晶圆测试和计量资产。P10具有广泛的功能集和集成的自动化功能,可确保跨流程层进行高效、准确的测量,并提高产量和流程可重复性。
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