二手 KLA / TENCOR P10 #9211916 待售

KLA/TENCOR P 10是一种最先进的晶圆测试和计量设备。KLA P-10系统是一种全自动高速装置，设计用于检查和测量晶圆的所有表面和缺陷特性。TENCOR P 10机器的主要应用是晶片制造，用于分析和检验晶片制造过程中的工艺变化。KLA/TENCOR P-10工具可以检测晶片表面的多种缺陷，包括整模缺陷、细颗粒、表面划痕和晶界。此外,KLA/TENCOR P 10还配备了双轴微镜阵列,可在晶圆表面上进行高精度和高精度的临界测量。KLA P 10资产采用最新耦合电极压力传感器技术构建。耦合电极压力传感器技术提供超低力剖面能力，使KLA P 10模型能够以小于5nm的精度测量晶片表面的地形。设备还配备了集成检测系统，使用200 nm/pixel分辨率检测晶圆表面上的缺陷并进行分类。该检测单元利用统计过程控制（SPC）等后处理技术进一步分类和隔离缺陷进行分析。TENCOR P-10机器还能够在晶圆表面上执行许多无损检测（NDT）操作。这些无损试验包括薄膜厚度、片状电阻率、湿蚀刻、离子束溷合、气相反应、椭圆偏振法等表面性质试验。此外,该工具还可用于执行应力/应变测量,如表面去嵌入和实时热成像。P10资产还可以配备多项可选功能,包括自动缺陷审查系统、过程徘徊、模具可重复性和自动缺陷分类。该模型还与一系列机器人装卸系统以及机器人视觉系统兼容。P 10设备还能够与其他工厂自动化系统集成。TENCOR P 10晶片测试和计量系统是一个高效、通用的单元，非常适合晶片制造。该机先进的耦合电极压力传感器技术和无损检测能力使其成为工艺开发和生产监控的理想选择。集成检测工具和自动缺陷审查系统使P-10资产成为任何半导体制造设施所必需的。