二手 KLA / TENCOR P10 #9215072 待售

KLA/TENCOR P 10晶圆测试和计量设备旨在在整个制造过程中提供最高水平的精度、准确性和可重复性。该系统设计用于自动环境中的晶圆检测和计量。KLA P-10是一个完全自动化的单元,能够测试给定过程中的每个晶片。它包括高性能的光学机器、精密软件套件，以及能够快速准确地测量全晶片特性和缺陷的全自动操作工具。该资产在测量晶圆级均匀性、厚度和线宽方面提供了最高的分辨率和可重复性以及最低的可变性。高性能光学模型的设计是通过提供更高的信噪比、更高的速度和精度水平以及提高图像完整性来最大限度地提高设备的效率。该光学器件针对各种晶片和平面布局进行了优化，包括高长宽比晶片，其线条细至10 nm。精密软件套件为工程、计量和工艺开发提供了灵活且复杂的晶圆测试工具。它包括基于CAD的晶圆规范，各种图像质量评估算法，以及计量和过程结果的相关性。软件套件还可以创建同一区域的第二个图像映射,以便与其他特征描述和过程步骤关联。TENCOR P 10由全自动操作系统控制，该系统提供快速、准确、可重复的晶片在舞台上的放置。它包括可靠的运动控制、闭环样本传输单元和独立的样本处理功能。该机器的设计可适应各种应用和环境,从台式到全面制造。总体而言,P 10晶片测试和计量工具旨在在晶片测试和计量环境中提供尽可能高的精度、可重复性和精度。先进的光学资产、复杂的软件套件和自动化功能相结合,创建了一个能够快速准确地测量各种晶圆参数和缺陷的模型。