二手 KLA / TENCOR P10 #9233591 待售

KLA/TENCOR P 10是一种晶圆测试和计量设备，设计用于高通量晶圆测量和缺陷检测。借助三维成像技术，KLA P-10可以提供薄膜结构的精确表面和深度分析，包括高度、电阻率、组成、微缺陷等方面的测量。该系统利用专利的基于形状的缺陷检测算法来检测微小的不规则性，即使在具有挑战性的模式处理过程中也是如此。TENCOR P 10的设计紧凑,占用空间最小,能够容纳直径可达300 mm的晶圆。它能够每小时测量300个晶圆，是制造高通量晶圆的理想单位。KLA P 10还附带了多种高级分析功能，包括三维数据显示、3D迭加分析和迭加误差图。这些数据可用于快速凝胶高放大结果，如线宽，表征和监测光刻过程。P 10还提供了许多旨在提高计量结果准确性的功能。该机器利用自动聚焦调整来确保数据收集点保持一致和准确。此外,OptiChart软件允许对缺陷进行模式分割和自动映射,并在需要时提供手动重新检查。TENCOR P-10还拥有一个无损临界维度计量工具，可以精确测量电阻率、组成等。该资产还具有漂移补偿软件，以抵消热效应和拓扑的影响。KLA/TENCOR P-10是一个通用的模型,提供了许多基准测试和分析功能。其非凡的低拥有成本和广泛的能力使其成为半导体制造和材料分析的理想选择。P10是当今晶圆制造环境中精密计量和缺陷检测的理想选择。