二手 KLA / TENCOR P10 #9243616 待售
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KLA/TENCOR P 10晶圆测试和计量设备是一种自动化测量解决方桉,旨在满足半导体行业的需求。该系统旨在提供快速、准确和可重复的晶片测量,包括许多过程步骤。它能够测量直径可达200毫米的晶片,是处理GaAs和Si晶片的理想之选。KLA P-10的主要部件包括扫描级、照明源、探测器、分析软件和精密机械手。扫描阶段的设计目的是在广阔的视野中提供高速扫描,从而实现快速准确的测量。照明源由强大的氙灯组成,在整个晶片表面提供均匀的照明设置。探测器的设计目的是探测发光晶片的热排放,从而提高测量精度。分析软件用户友好,允许用户快速识别晶圆中的缺陷并采取适当的纠正措施。最后,精密机械手允许用户将晶片移动到合适的位置进行分析和测量。TENCOR P 10利用其高速、自动甘特操作和各种旨在快速分析晶圆表面的工具,提高了生产效率和准确性。此外,用户还可以利用自动粒子检测功能和CCD检查表来提高准确性,从而能够快速识别复杂的缺陷。KLA/TENCOR P-10单元还提供集成的温度和压力控制,使用户能够在各种敌对环境中进行测量。温度和压力可以准确监测,确保每个晶片在任何时候都在最佳条件下测量。P10旨在提供快速、准确和可重复的晶圆测量。它结合了自动化测量平台和先进的照明和检测技术,以提高效率和准确性。这台机器提高了工作效率,提高了测量精度,并集成了温度和压力控制,使用户能够在最恶劣的环境中进行测量。
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