二手 KLA / TENCOR P10 #9248606 待售

KLA/TENCOR P 10是一种先进的自动化晶片测试和计量设备，用于识别和表征前沿技术节点中的半导体晶片。该系统通过光学扫描每个晶片的高分辨率图像来检测与过程相关的缺陷。此外,KLA P-10单元还提供高级数据分析功能,以构建检测模型,甚至可以检测到最小的缺陷。TENCOR P 10机的主要部件是框图处理器（BDP）、激光成像子系统（LIS）、光学子系统、计量子系统。BDP是一个专门的组件，控制TENCOR P 10工具的各个组件，并处理LIS和光学子系统的结果。它还负责TENCOR P-10资产的整体运作和管理模型生成的数据。P 10设备的激光成像子系统（LIS）由脉冲激光、扫描级和远心透镜组成。这个子系统提供晶片的自动化、高分辨率成像，甚至可以检测到最小的缺陷。LIS中使用的激光通常是515纳米的波长，对广泛的缺陷特性敏感，包括那些与过程相关的缺陷。KLA P 10系统的光学子系统负责解释和分析从LIS获得的数据。此子系统包含两个主要组件：缺陷监视器和彩色监视器。缺陷监视器用于识别晶片上与过程相关的缺陷。彩色监视器用于测量不同晶片之间的颜色变化。计量子系统是一种数据分析工具，它获取LIS生成的数据，并应用数学算法提取有关晶圆缺陷特性的信息。此子系统可用于开发识别甚至是最轻微的与过程相关的缺陷的模型。P10单元是识别过程相关缺陷的极其强大的工具。它结合了高分辨率成像、复杂算法和强大的数据分析功能,为高级技术节点中的质量控制提供了全面的解决方桉。这台机器可以用来确保高产和稳健的产品性能，这在竞争激烈的半导体制造业中是必不可少的。