二手 KLA / TENCOR P10 #9261861 待售

KLA / TENCOR P10
ID: 9261861
晶圆大小: 8"
Surface profiler, 8".
KLA/TENCOR P 10是一种晶圆测试和计量设备,设计用于快速检查和测量半导体晶圆的性能。该系统采用了最新的先进检验和计量技术,以提供高吞吐量和可重复、准确的测量。KLA P-10单元的核心是一个高分辨率的图像传感器,能够捕获分辨率高达500 nm的图像。将传感器与先进的信号处理算法相结合,TENCOR P 10能够快速、精确地检测晶圆表面的缺陷。除了发现表面缺陷外,P-10还可以测量各种设备和工艺参数,精度极高。P10还包括扩展机器功能的一系列测量模块。这些包括激光反射仪、3D光学计量和扫描电子显微镜。这些模块允许KLA/TENCOR P 10以高精度测量线宽、特征尺寸、深度轮廓和接触角等半导体特征。TENCOR P-10还附带了许多简化操作的工具。其中包括作业管理器、缺陷检查查看工具和配方编辑器,允许用户快速轻松地创建、修改和执行作业。此外,KLA P 10与KLA Suite软件集成,为趋势分析和收益优化提供了强大的分析工具。TENCOR P 10设计用于高容量、高产、低成本的操作,适用于生产试验和工艺评价。KLA/TENCOR P-10将高级检验和计量功能与易用性相结合,是高效晶圆测试和过程控制的理想解决方桉。
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