二手 KLA / TENCOR P10 #9280853 待售
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KLA/TENCOR P 10是一种综合性晶圆测试和计量设备。KLA P-10允许晶片制造商诊断其晶片的问题并分析其晶片工艺的性能。TENCOR P 10系统由晶圆对齐工具和盖板计量工具两个主要组成部分组成。Wafer Align工具用于对齐KLA P 10光学表面平面上的晶片,从而能够精确测量晶片几何形状、缺陷和其他属性。Cover Metrology工具利用横截面成像技术来揭示晶圆拓扑中的缺陷或其他不规则性。P 10还具有自动识别(ID)和鉴定功能。ID过程允许晶片制造商比较不同的晶片,以便检测它们之间的任何差异。鉴定过程验证晶片制备正确,适合制造。TENCOR P 10单元还具有一套测量工具,使晶圆制造商能够精确测量平面内和平面外晶圆参数。通过使用这些工具,制造商能够评估其晶圆工艺的性能,并相应地校准P-10台机器。此外,该工具还能够创建晶圆的详细选择图,显示它们各自的值。KLA P 10资产还配备了丰富的信息性报告功能,使晶圆制造商能够跟踪晶圆产量水平、厚度以及任何其他感兴趣的特性。该模型还能够生成表格和图形格式的报告。从而允许用户创建晶圆测试结果的视觉和全面表示。总体而言,TENCOR P-10是一种通用的晶圆测试和计量设备。它提供了一整套工具和功能,使晶圆制造商能够准确评估其晶圆工艺的性能。此外,系统还提供有用的报告功能,使用户能够监视和查看晶圆测试结果。总之,KLA/TENCOR P-10是衡量和评价晶圆产品性能的有力单位。
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