二手 KLA / TENCOR P10 #9301230 待售

KLA/TENCOR P 10是KLA公司开发的晶圆测试和计量设备。设计用于半导体制造中先进的晶圆检测和计量应用。KLA P-10系统利用TENCOR获得专利的扫描近场光学显微镜（SNOM）技术,该技术可对2微米以下的结构进行精确的度量和缺陷分类。该装置能够检测直径达300 mm的晶片，能够精确检测小到10nm的缺陷。机器的主要部件是它的高速扫描电子显微镜（SEM）头，用于捕捉晶圆表面的高分辨率3维图像。SEM头连接到TENCOR P 10的光学单元，为显微镜提供光线。光学装置具有先进的照明器和探测器，可以进行亚表面成像。工具中使用的强大成像算法有助于识别污染、蚀刻和损坏等小缺陷。此外,资产还能够识别模式和操作模式,如颠簸、沟槽和其他计量特征。模型中使用的软件支持广泛的分析和测量工具,使其能够提供有关晶圆条件的详细信息。这包括缺陷大小分析、迭加和尺寸测量、拓扑分析、计量特征分析和CD/OCD测量。此外，半自动化设备还制定了晶圆分析和测试计划，便于操作。TENCOR P 10设备中包含的用户友好型软件允许方便设置和操作。使用该软件,用户可以创建晶圆检查和计量的自定义配方,并根据特定客户需求配置系统。此外,该软件还提供了一整套用于数据管理、错误检测和分析的工具。总之，P 10晶片测试和计量单元是一个强大的解决方桉，它为晶片检测和计量提供了高精度、高速度和灵活性。它利用机器强大的成像算法、照明器和探测器来提供对半导体制造过程至关重要的有价值的度量和数据。