二手 KLA / TENCOR P10 #9301895 待售

KLA/TENCOR P 10是一种自动化晶片测试和计量设备，设计用于对半导体晶片的电气、机械和光学性能进行精确的定量测量。该系统利用Deep UV、Ion Beammetrology、X射线和扫描电子显微镜等多种技术，提供准确可靠的晶圆测试结果。KLA P-10配备了先进的成像单元，使其能够准确、快速地执行无损文件图像。TENCOR P 10的核心是其先进的成像机器，它可以捕获各晶圆表面的高度详细的图像。它利用三种技术来实现这一点：深紫外线、离子束和X射线。它为这些技术中的每一种都使用了专门的镜头，以提高图像的分辨率并提高其准确性。成像工具还配备了高分辨率相机，可进行详细测量。P-10还具有自动晶圆测试过程。这是利用扫描电子显微镜（SEM）技术完成的。在SEM中，电子束用于扫描晶圆的表面并生成其表面特征的图像。此图像随后可用于分析晶片的材料特性，如其电阻、电荷泄漏特性、表面粗糙度或射线图厚度。KLA P 10还能够执行一系列计量测量。其中包括临界层厚度测量、掺杂深度测量和轮廓测量。这使资产能够为各种应用程序（如产量和可靠性分析、缺陷检测和分析以及过程控制）提供详细的指标。除了成像能力外，KLA/TENCOR P-10还包括先进的软件功能，使晶片能够在生产过程中进行监测，从而实现统计过程控制，并为改进制造过程提供反馈。总体而言，P10是一种自动化晶片测试和计量模型，具有高度先进的成像设备和自动化晶片测试过程。它的能力使它能够对半导体晶片进行广泛的高度准确和可靠的测试和测量，使它能够为各种应用提供有价值的数据。