二手 KLA / TENCOR P10 #9379237 待售

KLA/TENCOR P 10是一种晶圆测试和计量设备，为半导体制造提供高吞吐量、可配置的体系结构和先进的应用。它提供了一套全面的应用，包括缺陷审查、光学CD测量、覆盖对准和掩模平面度测量。利用先进的扫描和计量技术，KLA P-10提供了快速和精确的晶圆测量。它拥有一个专用的扫描系统，能够以高达1000纳米每秒的加速速度进行扫描，振幅分辨率为5纳米。TENCOR P 10通过可为单个客户需求和流程评估标准量身定制的软件提供最大的灵活性。该单元的成像功能允许进行详细的缺陷表征、模式测量和分析,以及通过晶片测量温度。它还具有广阔的视野和高分辨率的3D断层成像，允许对缺陷进行详细的表征。除了扫描和计量系统外,P 10机器还具有预编程应用程序库,能够监控和识别各种过程变化,如粒子沉积、电阻率变化、气体积累和特征变化。先进、用户友好的应用程序和强大的结果分析可提高客户的产量和可靠性。KLA P 10的一个主要特点是其内置的环境控制工具，定期监测资产的环境。这有助于防止异常值和由于温度和湿度的波动而产生的错误读数。KLA/TENCOR P 10还包括一个全面的软件和算法的质量保证。它提供了多种工具，如统计分析方法、缺陷识别方法、用于识别过程变化的软件以及用于提高测量精度的软件。P-10模型适用于研发和批量生产。它由KLA专有的WSA软件（Wafer Section Analyzer）提供支持，该软件旨在实现快速、准确和可重复的晶圆测量。该设备具有广泛的功能,为客户提供了最大的可靠性和质量控制。