二手 KLA / TENCOR P10 #9399254 待售
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KLA/TENCOR P 10是一种高精度晶圆测试和计量设备,设计用于先进的材料表征和工艺以及缺陷监测。该系统设计用于扫描电子显微镜(SEM)和聚焦离子束(FIB)半导体器件、集成电路和其他材料的映射应用。KLA P-10单元结合了复杂的成像、自动切片、高分辨率沉积以及全面的成像和表征能力,以实现全面的晶圆检查和分析。该机包括纳米级分辨率扫描隧道显微镜、原子力显微镜、拉曼光谱、化学成像等一系列集成技术。这个先进的工具提供了对设备特性如地形、缺陷几何形状、平面度、深度和化学成分的快速准确的测量。该资产提供了一系列自动化功能,非常适合进行测量,例如自动焦距和焦点位置控制,以及缺陷优化。此外,该模型还具有广泛的计量套件,用于自动晶圆级缺陷分析。TENCOR P 10有先进的软件工具用于测量结果的分析和报告。直观的图形用户界面使用户能够快速查看、分析和处理数据。自动化工具简化了从图像中提取定量计量数据的任务。一套广泛的分析算法使设备能够识别和分类图像中的各种模式、特征和缺陷。该系统能够捕获分辨率高达1微米、厚度小至2nm的图像。它有一个高精度的定位单元,使样品能够快速对齐和聚焦。此外,该机与广泛的基材和材料兼容,包括半导体材料、石英、蓝宝石和玻璃。综上所述,KLA/TENCOR P 10工具先进的设计和精密的技术使用户能够快速准确地分析集成电路等材料。该资产提供高分辨率成像、自动切片以及全面的晶圆检查和分析功能。全面的软件工具使用户能够轻松查看、分析和操作数据,以实现更有效的测量和分析。这种高精度模型非常适合广泛的材料表征和过程以及缺陷监测应用。
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