二手 KLA / TENCOR P10 #9410939 待售
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ID: 9410939
晶圆大小: 8"
Profilometer / Surface profiler, 8"
M2 XR Rolling stand
Vertical features ranging: 100 A to approximately 300µm
Vertical resolution: 0.5, 2, or 10A
Micro-roughness: 0.5Å (0.002 min.)
Semiconductor wafers
Thin-film heads
Precision-machined and polished surfaces
Ceramics for micro-electronics
Glass for flat panel displays
Optical surfaces.
KLA/TENCOR P 10是专门为大型集成电路(LSIC)、光电、MEMS制造商设计的晶圆测试和计量系统。KLA P-10使用强大的行业标准组件构建,并利用多探针配置在多个点测试每个晶片。它提供综合的计量能力,将成像和电气测量相结合。此外,它还提供了多种测量功能,例如晶体管设备和其他表面特征的映射、多重放大成像、有源光散射测量(AOS)、通量测量和电气I-V测试。TENCOR P 10的多探针配置在测试元件位于晶圆不同区域的产品中往往是有利的。通过在晶片的每一侧以及沿圆周的探针点,可以在多个位置进行测试。TENCOR P-10还为用户提供了根据其特定应用程序选择的探针,包括模具间探针和边缘探针选项。双位置功能最大程度地减少了探针边缘对测量的影响。KLA P 10的成像功能包括多种功能,如门延迟电路、触点、特征、隔离宽度、残留阻塞和泄漏、分层、颜色对比、表面坚固性、地形和横截面成像。光学晶片检查功能还为用户提供晶片形状、平整度、经度和线宽的精确成像。此外,KLA/TENCOR P-10能够进行有源光散射测量(AOS),使用户能够快速获得准确的测量结果,而无需手动定义电平。KLA/TENCOR P 10还提供多种电气测试功能,如晶体管特性(I-V)、晶体管建模、直流阻抗测试和可靠性测试。这使用户能够快速分析晶体管并测试其可靠性和性能。再者,KLA P 10配备了一个低噪声放大器/高速系统,用于测试纳米级器件。这样可以确保准确检测到脉冲,从而实现更精确的测量。总之,P10是一种通用的晶圆测试和计量系统,为大型集成电路(LSIC)制造商提供了许多功能。它具有以客户为中心的功能,如多探测器配置、成像和电气测量、通量测量以及有源光散射测量(AOS),可实现更好的质量控制和实时过程反馈。
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