二手 KLA / TENCOR P11 #130279 待售

KLA/TENCOR P 11是一种晶圆测试和计量设备，旨在识别和表征半导体晶圆中的缺陷。该系统旨在全面了解被测晶片的状况，深入了解缺陷的可能原因和潜在的纠正措施。该单元利用了许多硬件组件，包括光学晶片检测系统、晶片应力测量系统、测试和缺陷分析系统以及缺陷计数系统。这些元件协同工作，识别和测量晶圆上的缺陷，包括粒子异常、表面粗糙度异常、电场异常、机械应力异常和化学残留。KLA P-11机器包括许多允许快速分析缺陷数据的专有软件工具。这些工具包括缺陷分类、度量解释、异常检测和机器视觉算法。可以分析这些数据以检测缺陷的根本原因,从而使用户能够对其流程进行更改以避免将来出现这些缺陷。随着自动化缺陷分析，TENCOR P 11工具提供计量服务，允许分析晶圆电气和几何特性。这可用于检测工艺非均匀性,然后由工艺工程师对其进行校正。TENCOR P 11资产还提供全面的流程跟踪功能。这使用户能够随时间监测其流程,确保一致性并预测可能改进的领域。这些工具还提供随着时间推移和跨晶圆的数据关联，使用户能够了解整个流程流程。综上所述，TENCOR P-11是一种先进的晶圆测试和计量模型，旨在提供对半导体晶圆状态的全面了解。它利用功能强大的专有软件工具来检测和解释缺陷、测量电气和几何特性以及跟踪过程性能。这允许用户最大限度地提高流程性能和产量。