二手 KLA / TENCOR P11 #293661312 待售

KLA / TENCOR P11
ID: 293661312
Surface profiler P/N: 401226 Power supply: 100 V, 4 A.
KLA/TENCOR P 11是一种晶圆测试和计量设备,旨在提高晶圆级半导体制造的测试经验。该仪器结合了其前身P10的前沿技术和其较大P15系统的先进能力。它允许单个单元容纳6"至12"范围的晶片,同时保持优越的FTIR(傅立叶变换红外)分析和高保真信号捕获。其高精度、吞吐量和可用性使其成为晶圆级测试和计量应用的强大工具。KLA P-11实施其突破性的光电二极管阵列(PDA)技术,在一次全晶片测量中捕获和消化多达四十四个光电二极管位点的数据。该阵列中的每个光电二极管都被单独配置为获取具有最大保真度和准确性的信号。此结果是一种全面的测量方法,在多个位置之间具有相对和绝对数据相关性,可提供更高的准确性和更少的测试迭代。TENCOR P 11的FTIR能力加上其PDA技术甚至可以检测到测试结构和性能参数中最微妙的变化。这使得它能够获得在手动和自动测试/计量方桉中进行复杂信号和噪声分析的高度精确的数据。工艺控制系统也可与KLA/TENCOR P 11配合使用,以提供对晶圆测试序列和定时的更大控制。这确保了通过仪器控制语言(ICL)程序集可以灵活、高精度地执行晶圆测试操作。为了提高KLA/TENCOR P-11的性能和精度,并随着时间的推移保持精度,使用专有的光学技术来补偿硬件的可变性。自主监测和控制还允许对光学参数进行动态调整,以便对一些不同的测试保持高度准确的响应。P11的增强处理和高级光学为用户提供了先进的数据捕获、精确的波形测量、实时信号分析以及一系列其他功能。总体而言,该机器为测试和计量应用提供了卓越的数据精度、快速的测量时间和操作效率,使其成为要求最苛刻的半导体制造操作的理想选择。
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