二手 KLA / TENCOR P11 #293662985 待售

KLA/TENCOR P 11是一种晶圆测试和计量设备，设计用于高容量产量分析和晶圆厂工艺监测。该系统利用先进的成像分析技术来检查晶片，目的是确保最小缺陷水平。它配备了针对成像、表征和缺陷审查而优化的特定于工具的光学和计量组件。KLA P-11具有2 X光学和6 X计量系统,是各种晶圆检测应用的强大而通用的工具。TENCOR P 11具有坚固而刚性的龙门结构，旨在支撑大的场地密度。其高度可靠的成像系统能够在大约15秒的循环时间内提供快速、无缺陷的晶圆检查。KLA/TENCOR P-11通过其增强的成像系统，利用先进的算法检测传统系统可能无法检测到的细微缺陷。此外,TENCOR P-11还提供了高级覆盖、阵列掩蔽和闪烁成像功能,可用于优化缺陷检测。P-11还包括几个先进的计量组成部分，包括一个具有超高横向配准的专有AFM（原子力显微镜）单元，用于测量晶圆拓扑结构，其精确度是无与伦比的。KLA/TENCOR P 11的高性能计量机通过获得专利的多层轮廓分析技术得到了进一步的增强，以实现高度精确的临界尺寸（CD）测量。最后，P11包括一个自动缺陷检验站，利用先进的三维缺陷识别算法协助晶圆检测数据的检视和后处理。总体而言,TENCOR P 11是一种功能强大且用途广泛的晶圆测试和计量工具,其中包含高级成像分析技术、计量组件和自动缺陷审查功能。它非常可靠,在15秒的周期内提供准确、快速的检查结果。P 11具有检测细微缺陷、以无与伦比的精度测量晶圆拓扑、自动化缺陷审查的能力，是实现半导体行业生产产量高、工艺监控准确的理想工具。